BS ISO 14237-2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

作者:标准资料网时间:2024-05-18 03:11:33 浏览:9967 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Determinationofboronatomicconcentrationinsiliconusinguniformlydopedmaterials
【原文标准名称】:表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
【标准号】:BSISO14237-2010
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2010-08-31
【实施或试行日期】:2010-08-31
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硼;校正;化学分析和测试;浓缩值;晶体;含量测定;掺杂剂;精整;公式(数学);质谱学;定量分析;二次离子质谱;硅;光谱测定法
【英文主题词】:Boron;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Concentrationvalues;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Formulae(mathematics);Massspectrometry;Quantitativeanalysis;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Spectrometry
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:30P;A4
【正文语种】:英语

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