ASTM F 890-1984 微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定

作者:标准资料网时间:2024-04-28 04:02:08 浏览:9891 来源:标准资料网

【英文标准名称】:DeterminingPinholeDensityinPhotoresistFilmsUsedinMicroelectronicDeviceProcessing
【原文标准名称】:微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
【标准号】:ASTMF890-1984
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1984
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:销孔;密度;微电子学;电子工程;层;元部件;测定
【英文主题词】:pinholes;components;microelectronics;electronicengineering;density;determination;photosensitiveresist;layers
【摘要】:
【中国标准分类号】:L10
【国际标准分类号】:87_040
【页数】:3P;A4
【正文语种】:英语

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